標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置被廣泛應(yīng)用于各類氣體分析儀器生產(chǎn)廠商和檢測(cè)機(jī)構(gòu)，該裝置以流量比混合法為基本原理，通過(guò)嚴(yán)格控制-定比例的標(biāo)準(zhǔn)氣體和稀釋氣體的流量，并加以混合而制得目標(biāo)濃度的氣體，以滿足開展氣體分析儀、氣體檢測(cè)報(bào)警儀的檢定、校準(zhǔn)工作，或者用于滿足氣體分析質(zhì)量控制時(shí)對(duì)不同濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的需求。
 

　　標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置的應(yīng)用日益廣泛，如何對(duì)該類儀器進(jìn)行有效溯源，成為一個(gè)急需解決的問(wèn)題。該類儀器目前沒(méi)有國(guó)家檢定規(guī)程和校準(zhǔn)規(guī)范，目前僅能依據(jù)流量計(jì)檢定規(guī)程對(duì)該類儀器的內(nèi)部流量計(jì)進(jìn)行單獨(dú)校準(zhǔn)或測(cè)試，無(wú)法全面評(píng)價(jià)整個(gè)裝置的計(jì)量性能。
 

　　近幾年修訂的氣體分析儀器的相關(guān)檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范逐步完善了對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置的要求，均對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置的稀釋誤差提出了具體要求。
 

　　但如何確定該類儀器的稀釋誤差，國(guó)內(nèi)尚未見(jiàn)相關(guān)研究的報(bào)道。為更好的服務(wù)于相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)及使用單位，使該類儀器生產(chǎn)、溯源更加科學(xué)和規(guī)范，本次探討了該類儀器的校準(zhǔn)方法。
 

　　標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置組成及原理
 

　　1、裝置組成
 

　　標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋裝置通常由控制模塊、質(zhì)量流量控制器、電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊(可選)、電源模塊、通信模塊、顯示模塊組成。以某型號(hào)裝置為例，其中工控機(jī)控制模塊是裝置
 

　　的中樞，質(zhì)量流量控制器(MFC)是裝置的核心部件，其性能直接決定了整個(gè)系統(tǒng)輸出氣體的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，每個(gè)MFC前面裝有一個(gè)電磁閥，起到開關(guān)和保護(hù)的作用，人機(jī)界面采用觸摸顯示屏作為顯示和輸人的途徑，工控主板和其它模塊使用串口通訊。
 

　　2、工作原理
 

　　兩路氣源輸出的氣體經(jīng)過(guò)減壓閥減壓進(jìn)入質(zhì)量流量控制器，各路質(zhì)量流量控制器根據(jù)控制模塊設(shè)定的濃度值控制氣體的流量，氣體流量的不同決定混合后產(chǎn)生的混合氣體的濃度也不同，從而達(dá)到配制目標(biāo)氣體濃度的目的。